| 光學性能 Optical property | |||
| 折射率 (nd (λ587.6 nm)) Refractiive Index |
阿貝值 (ve = (ne– 1) / (nF‘ – nC‘)) Abbe Number |
色散 Dispersion |
應力光彈系數 (in (nm/cm)/MPa) Stress Photoelastic Coefficient |
| 1.5354 | 55 | 1.5300 | 34.7 |
| 熱學性能 Thermal property | |
| 項目Item | 值Value |
| 線性熱膨脹系數 α (20 - 300 °C) Coefficient of Linear Thermal Expansion |
7.2x 10-6 K-1 * |
| 比熱容 Cp (20 - 100 °C) Specific Heat Capacity |
0.8 kJ/(kg·K) |
| 轉變溫度in ℃ Transformation temperature |
557 |
| 機械性能 Mechanical property | |
| 項目Item | 值Value |
| 密(mi)度ρ (25 °C) Density | 2.51 g/cm3 |
| 彈性系數 G Torsion Modulus | 30 kN/mm2 |
| 泊松比 Poisson's ratio | 0.21 |
| 努氏(shi)硬(ying)度HK0.1/2 Knoop Hardness | 470 |
| 彎(wan)曲強度HK0.2/25 Vickers hardness | 510 |
| 電學性能 Electrical property | ||
| 項目Item | 值Value | |
| 介電常數（εr） Dielectric Constant（25℃，1 MHz） |
6.7 | |
| 介電損耗（tanδ） Leakage Constant（25℃，1 MHz） |
61×10-4 | |
| 電阻率對數（Ω·cm alternate current 50 Hz） Electric Volume Resistivity |
250℃ | 1.6*108 |
| 電阻率對數（Ω·cm alternate current 50 Hz） Electric Volume Resistivity |
350℃ | 3.5*108 |
| Diameter | 2inch | 3inch | 4inch | 5inch | 6inch | 8inch | 12inch |
| Thickness (um) | Depends on Request | ||||||
| Material | D263t | ||||||
| Grade/Brand | Schott® | ||||||
| Surface Finished | DSP、SSP、DSL | ||||||
| TTV (um) | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜10 | ＜15 |
| Bow/Warp (um) | ＜20 | ＜20 | ＜30 | ＜30 | ＜30 | ＜40 | ＜60 |
| Ra (nm) | ＜1 | ||||||
| S/D (um) | 40/20 | ||||||
| 特殊指標： 超平玻璃（Ultra-flat glass wafer） TTV＜1um 超薄玻璃（Ultra-thin glass wafer） Thickness：0.1-0.3um 超光滑玻璃（Ultra-smooth glass wafer ）Ra≤0.2nm |
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